| 主权项 |
1.一种减少镜面反射之液晶显示器反射层的制造 方法,包括提供一基底,该基底上包括一薄膜电晶 体及一绝缘层,该薄膜电晶体包括一闸极及一源极 及汲极: 形成一有机绝缘层于该绝缘层之上; 形成图案化一第一光阻层,曝露出部分该有机绝缘 层; 以该第一光阻层为罩幕,蚀刻该有机绝缘层之部分 厚度,以在该有机绝缘层上形成复数个凸起; 移除该第一光阻层; 进行一热制程,该热制程系用以将该些凸起热回流 而形成复数个类斜面凸点; 形成图案化的一第二光阻层于该有机绝缘层之上, 该光阻层曝露出该些类斜面凸点顶端区域的部分 及该些类斜面凸点间凹陷区域的部分; 以该第二光阻层为罩幕,蚀刻该些类斜面凸点之表 面; 移除该第二光阻层;以及 形成一金属薄膜于该有机绝缘层之上,覆盖住该些 类斜面凸点的全部或部分。 2.如申请专利范围第1项所述之减少镜面反射之液 晶显示器反射层的制造方法,该有机绝缘层的材质 为压克力树脂或是感光树脂。 3.如申请专利范围第1项所述之减少镜面反射之液 晶显示器反射层的制造方法,其中该金属薄膜的材 质可以为例如铝、镍、镁、铬、银或铜等金属所 组成的族群中,选择而构成的。 4.如申请专利范围第1项所述之减少镜面反射之液 晶显示器反射层的制造方法,其中该绝缘层的材质 包括氮化矽。 5.如申请专利范围第1项所述之减少镜面反射之液 晶显示器反射层的制造方法,其中该有机绝缘层包 括一开口,该开口曝露出位于该源极及汲极上方之 该绝缘层。 6.如申请专利范围第5项所述之减少镜面反射之液 晶显示器反射层的制造方法,其中该第二光阻层曝 露出该开口及该开口底部之该绝缘层。 7.如申请专利范围第6项所述之减少镜面反射之液 晶显示器反射层的制造方法,当以该第二光阻层为 罩幕蚀刻该些类斜面凸点之表面时,更包括移除该 口底部之该绝缘层并曝露出该源极及汲极。 8.一种液晶显示器之反射层的制造方法,包括: 提供一基底; 形成一有机绝缘层覆盖于该基底; 形成图案化一光阻层于该有机绝缘层之上; 以该光阻层为罩幕,蚀刻有机绝缘层之部分厚度, 以使该有机绝缘层上具有一近似同心圆或是一同 心圆图案; 移除该光阻层; 进行一热制程,该热制程系用以将该近似同心圆或 是同心圆图案回流成一波浪状近似同心圆或是同 心圆结构;以及 形成一金属薄膜于该有机绝缘层之上,覆盖住该波 浪状近似同心圆或是同心圆的结构的全部或部分 。 9.如申请专利范围第8项所述之液晶显示器之反射 层的制造方法,该有机绝缘层的材质为压克力树脂 或是感光树脂。 10.如申请专利范围第8项所述之液晶显示器之反射 层的制造方法,其中该金属薄膜的材质可以为例如 铝、镍、镁、铬、银或铜等金属所组成的族群中, 选择而构成的。 11.一种减少镜面反射之液晶显示器反射层的制造 方法,包括提供一基底,该基底上包括一薄膜电晶 体及一绝缘层,该薄膜电晶体包括一闸极及一源极 及汲极: 形成一有机绝缘层覆盖于该绝缘层之上; 形成图案化一第一光阻层于该有机绝缘层之上; 以该第一光阻层为罩幕,蚀刻该有机绝缘层之部分 厚度,以使该有机绝缘层上具有一近似同心圆或是 一同心圆图案; 移除该第一光阻层; 进行一热制程,该热制程系用以将该近似同心圆或 是同心圆图案回流为一波浪状近似同心圆或是同 心圆结构; 形成图案化的一第二光阻层于该有机绝缘层之上, 该第二光阻层系曝露出该波浪状近似同心圆或是 同心圆结构的波峰部分区域及波谷部分区域; 以该第二光阻层为罩幕,蚀刻该波浪状近似同心圆 或是同心圆结构的表面; 移除该第二光阻层;以及 形成一金属薄膜于该有机绝缘层之上,覆盖住该波 浪状近似同心圆或是同心圆结构的全部或部分。 12.如申请专利范围第11项所述之减少镜面反射之 液晶显示器反射层的制造方法,该有机绝缘层的材 质为压克力树脂或是感光树脂。 13.如申请专利范围第11项所述之减少镜面反射之 液晶显示器反射层的制造方法,其中该金属薄膜的 材质可以为例如铝、镍、镁、铬、银或铜等金属 所组成的族群中,选择而构成的。 14.如申请专利范围第11项所述之减少镜面反射之 液晶显示器反射层的制造方法,其中该绝缘层的材 质包括氮化矽。 15.如申请专利范围第11项所述之减少镜面反射之 液晶显示器反射层的制造方法,其中该有机绝缘层 包括一开口,该开口曝露出位于该源极及汲极上方 之该绝缘层。 16.如申请专利范围第15项所述之减少镜面反射之 液晶显示器反射层的制造方法,其中该第二光阻层 曝露出该开口及该开口底部之该绝缘层。 17.如申请专利范围第16项所述之减少镜面反射之 液晶显示器反射层的制造方法,其中当以该第二光 阻层为罩幕蚀刻该波浪状近似同心圆或是同心圆 结构的表面时,更包括移除该口底部之该绝缘层并 曝露出该源极及汲极。 图式简单说明: 第1A图系由习知所揭露之粗糙反射电极的制造方 法所得之反射板之剖面示意图; 第1B图系绘示习知反射板之反射率和视角的相对 关系; 第2图系根据本发明第二及第三较佳实施例所绘示 反射板之反射率和视角的相对关系; 第3A图系绘示根据本发明第一较佳实施例在一个 画素(Pixel)位置上应用本发明所揭露的方法所形成 的一个波浪状类同心圆的结构; 第3B图至第3E图系绘示根据本发明第一较佳实施例 ,形成该结构之方法的剖面示意图; 第3F图系绘示根据本发明第一较佳实施例,在结构 上形成反射电极的方法的剖面示意图; 第4A图至第4F图系绘示根据本发明第二较佳实施例 所揭露的减少镜面反射之液晶显示器反射层制造 方法的剖面示意图;以及 第5A图至第5B图系绘示根据本发明第三较佳实施例 所揭露的减少镜面反射之液晶显示器反射层制造 方法的剖面示意图。 |
