| 主权项 |
1.一种用于群集系统之移转室,包括: 一第一主体; 一附着于该第一主体一侧面之第二主体;以及 一结合该第一体主体之上部的盖。 2.根据请求项1之室,其中该移转室具有一六角柱形 状、一七角柱形状及一八角柱形状其中之一。 3.根据请求项1或2之室,其中该第一主体具有一六 面体形状。 4.根据请求项1之室,其中该第二主体具有一三角柱 形状及一长方体柱形状其中之一。 5.根据请求项1之室,其中该第二主体的上侧和下侧 具有一梯形形状。 6.根据请求项1之室,其中将一O形圈插入在该第一 主体和该第二主体之间。 7.根据请求项1之室,其中将一O形圈插入在该第一 主体和该盖之间。 8.根据请求项1之室,进一步包括该第一主体之面向 该第二主体之另一个侧面处的一第三主体。 9.根据请求项8之室,其中该第三体主体形状相同于 该第二体主体形状。 10.一种用于群集系统之移转室,包括: 一第一单体形状主体,其包括一上表面及复数个侧 表面,该上表面具有一第一开口及至少一侧表面具 有一第二开口; 一结合该第一开口之上部的盖;及 一第二主体,其具有一结合该第二开口之第三开口 。 11.根据请求项10之室,进一步包括一介于该第一开 口与第二开口间之第一连接构件,及一介于该第二 开口与第三开口间之第二连接构件。 12.根据请求项11之室,其中该第一及第二连接构件 可自该第一主体、上部的盖及第二主体分离。 13.根据请求项11之室,其中该第一及第二连接构件 系一O形圈。 14.根据请求项10之室,其中该复数个侧表面包括二 第一面侧表面及二第二面侧表面,其中每一该二第 一面侧表面具有该第二开口及连接该第二主体之 第三开口,及其中该二第二面侧表面系分别连接至 一装载锁定室及一制程室。 15.根据请求项10之室,其中该第二主体包括一第一 侧表面及至少一第二侧表面,及其中该第一侧表面 具有该第三开口及至少一第二侧表面系连接至一 制程室及一预热室之一。 16.根据请求项10之室,进一步包括一该第一主体中 之自动传递装置,用以输送及送回一基板。 17.根据请求项10之室,其中藉由结合该第二开口及 第三开口形成一空间,当基板被输送或被送回时作 为一临时储存位置及通道。 18.根据请求项10之室,其中该结合之第一及第二主 体具有一六角、七角及八角柱形状之一。 19.根据请求项18之室,其中该室具有六角形,该六角 形包括六角形之该第一主体及二三角柱形状之第 二主体。 20.一种用于群集系统之移转室,包括: 一第一主体,其包括一上表面及复数个侧表面,该 上表面具有一第一开口及至少一侧表面具有一第 二开口; 一结合该第一开口之上部的盖;及 一单体形状之第二主体,该单体形状具有一第三开 口及结合该第二开口。 21.一种用于群集系统之移转室,包括: 一第一单体形状主体,其包括一上表面及复数个侧 表面,该上表面具有一第一开口及至少一侧表面具 有一第二开口; 一结合该第一开口之上部的盖;及 一单体形状之第二主体,该单体形状具有一结合该 第二开口之第三开口。 22.一种用于群集系统之移转室,包括: 一第一单体形状主体,其包括一上表面、一第一侧 表面及一第二侧表面,该上表面具有一第一开口及 每一该第一及第二侧表面具有一第二开口; 一结合该第一开口之上部的盖;及 二第二主体,其每一具有一结合该第二开口之第三 开口。 图式简单说明: 图1系群集系统相关技术之示意图; 图2系说明用于群集系统相关技术之移转室之视图 。 图3系根据本发明第一实施例之移转室之示意图; 图4系根据本发明第一实施例之移转室之示意分解 图;以及 图5系根据本发明第二实施例之移转室之示意图。 |
