| 主权项 |
1.一种氟气体产生装置,属于电解分解含有氟化氢 的混合溶解盐所构成的电解浴而用以产生氟气体 的氟气体产生装置,其特征为: 具有藉由隔间壁所分离的阳极室与阴极室; 具备控制在中止氟气体产生时上述阳极室与上述 阴极室中至少任一方的电解浴液面高度的电解浴 液面控制手段。 2.如申请专利范围第1项所述的氟气体产生装置,其 中,上述电解浴液面控制手段具有压力检测手段, 及连动于上述压力检测手段的压力控制手段。 3.如申请专利范围第2项所述的氟气体产生装置,其 中,上述压力调整手段藉由将适当电流施加于阳极 ,调整上述阳极室内的压力,调整上述阳极室与上 述阴极室的液面差者。 4.一种氟气体产生装置的电解浴液面控制方法,属 于具备藉由隔间壁所分离的阳极室与阴极室,电解 分解含有氟化氢的混合溶解盐所构成的电解浴液 面而用以产生氟气体的氟气体产生装置的电解浴 液面控制方法,其特征为: 藉由压力检测手段检测在中止氟气体产生时上述 阳极室与上述阴极室中任一方的压力,并藉由上述 压力检测手段的检测结果将微弱电源供给于阳阴 极间,又藉由产生微量氟气体而调整上述阳极室的 压力,俾控制上述阳极室与上述阴极室的液面差。 图式简单说明: 第1图是表示本发明的氟气体产生装置的主要部分 的模式概略图。 第2图是表示本发明的氟气体产生装置的电解浴面 位置控制方法的流程图。 第3图是表示习知所使用的氟气体产生装置的模式 图。 |
