| 主权项 |
1.一种用于将一图案成像于一光敏表面上之系统, 其包含: 一雷射光束源,其输出一雷射光束; 一支撑表面,其支撑一面板,该面板包含一形成于 其上的图案元件阵列,该面板进一步包括一覆盖该 图案之光敏材料; 一扫描器,其沿一扫描路径横跨该光敏表面多次穿 越扫描该雷射光束,以曝露该光敏材料的多个部分 ;以及 一旋转器,其旋转提供该面板与该扫描器之间的一 相互角定向,以便当该面板与该扫描器相对于彼此 而处于一固定位置时,该面板上的一列图案元件与 该扫描路径交错。 2.如请求项1之系统,其进一步包含一传送器,该传 送器可操作以沿一交叉扫描方向在该扫描器与该 面板之间提供相互相对平移,该交叉扫描方向与该 扫描路径交错。 3.如请求项2之系统,其中该交叉扫描方向横穿该扫 描路径。 4.如请求项2之系统,其中该面板旋转器可操作以对 齐该面板,以便在该相互相对平移期间,使一列图 案元件平行于该扫描路径。 5.如请求项1之系统,其中该面板旋转器旋转该面板 ,以使每次该雷射光束之穿越时,该雷射光束曝露 覆盖单列图案元件之图案元件之该光敏表面的一 部分。 6.如请求项5之系统,其进一步包含一传送器,该传 送器可操作以提供该扫描器与该面板之间的相互 相对平移。 7.如请求项6之系统,其中使该相互相对平移之速度 与一扫描速度配合,以便在每次该雷射光束之穿越 时,曝露覆盖一后续列图案元件之图案元件之该光 敏表面的一部分。 8.如请求项7之系统,其中藉由至少一中间列图案元 件将该后续列图案元件与一先前列图案元件分开 。 9.如请求项1之系统,其中该雷射光束源输出一脉冲 雷射光束,该脉冲雷射光束系由多个在时间上分开 的雷射脉冲来定义。 10.如请求项9之系统,其中每一脉冲曝露该光敏表 面之一部分。 11.如请求项10之系统,其中该光敏表面之至少两部 分相互重叠。 12.如请求项1之系统,其中该雷射光束源输出一连 续波雷射光束。 13.如请求项1之系统,其中该旋转器可操作以相对 于该扫描器旋转该面板。 14.如请求项1之系统,其中该旋转器可操作以相对 于一支撑该面板的支撑结构旋转该扫描器。 15.一种用于将一图案成像于一光敏表面上之方法, 其包含: 输出一雷射光束; 支撑一面板,该面板包含一形成于其上的图案元件 阵列,该面板进一步包括一覆盖该图案之光敏材料 ; 沿一扫描路径横跨该光敏表面多次穿越扫描该雷 射光束,以曝露该光敏材料的多个部分;以及 提供该面板与该扫描器之间的一相互角定向,以便 当该面板与该扫描器相对于彼此而处于一固定位 置时,该面板上的一列图案元件与该扫描路径交错 。 16.如请求项15之方法,其进一步包含沿一交叉扫描 方向在该扫描器与该面板之间提供相互相对平移, 该交叉扫描方向与该扫描路径交错。 17.如请求项16之方法,其中该交叉扫描方向横穿该 扫描路径。 18.如请求项16之方法,其中该提供相互角定向包含 对齐该面板,使得在该相互相对平移期间,使一列 图案元件平行于一实际扫描路径。 19.如请求项15之方法,其中该提供相互角定向包含 对齐该面板,以使每次该雷射光束之穿越期间,该 雷射光束曝露覆盖单列图案元件之图案元件之该 光敏表面的一部分。 20.如请求项19之方法,其进一步包含提供该扫描器 与该面板之间的相互相对平移。 21.如请求项20之方法,其进一步包含使该相互相对 平移之速度与一扫描速度配合,以便在每次该雷射 光束之穿越时,曝露覆盖一后续列图案元件之图案 元件之该光敏表面的一部分。 22.如请求项21之方法,其中藉由至少一中间列图案 元件将该后续列图案元件与一先前列图案元件分 开。 23.如请求项15之方法,其中输出一雷射光束包含输 出一脉冲雷射光束。 24.如请求项23之方法,其中每一脉冲曝露该光敏表 面之一部分。 25.如请求项24之方法,其中该光敏表面之至少两部 分相互重叠。 26.如请求项15之方法,其中输出一雷射光束包含输 出一连续波雷射光束。 27.如请求项15之方法,其中该旋转器可操作以相对 于该扫描器旋转该面板。 28.如请求项15之方法,其中该旋转器可操作以相对 于一支撑该面板的支撑结构旋转该扫描器。 29.一种用于将一图案成像于一光敏表面上之系统, 其包含, 一雷射光束源,该雷射光束源输出一雷射光束,该 雷射光束系由在时间上分开的雷射脉冲之一序列 来定义;以及 一扫描器,其沿一扫描方向横跨一光敏表面扫描该 雷射光束; 其中使该扫描与雷射脉冲之该序列同步,以将每一 雷射脉冲传递至欲被成像之一图案之该扫描方向 上的一非相邻位置。 30.如请求项29之系统,其中该雷射光束源包含一Q开 关脉冲雷射。 31.如请求项29之系统,其中该扫描器包含一旋转多 边形。 32.如请求项29之系统,其进一步包含一传送器,该传 送器提供该扫描器与该光敏表面之间的相互相对 平移。 33.如请求项32之系统,其进一步包含一系统控制器, 该系统控制器控制以下至少一项:定义该雷射光束 之脉冲之一脉冲速率、该相互相对平移之一速度 以及一扫描速度。 34.如请求项32之系统,其中该扫描器可操作以将第 一扫描中的脉冲传递至要曝露的一第一列,并将一 第二扫描中的脉冲传递至要曝露的一第二列,要曝 露的该第二列与要曝露的该第一列相邻。 35.如请求项34之系统,其中该扫描器传递每一脉冲 以曝露一附加区域,从而形成一条带。 36.如请求项29之系统,其中要成像的该图案包含平 板显示器上彩色滤光器条带的一图案。 37.一种用于将一图案成像于一光敏表面上之方法, 其包含: 输出一雷射光束,其系由在时间上分开的雷射脉冲 之一序列来定义; 沿一扫描方向横跨一光敏表面扫描该雷射光束;以 及 使该扫描与雷射脉冲之该序列同步,以将每一雷射 脉冲传递至欲被成像之一图案之该扫描方向上的 一非相邻位置。 38.如请求项37之系统,其中该输出一雷射光束包含 从一Q开关脉冲雷射输出一雷射光束。 39.如请求项37之方法,其中该扫描包含将该雷射反 射离开一旋转多边形。 40.如请求项37之方法,其进一步包含提供在一扫描 器与该光敏表面之间的相互相对平移。 41.如请求项40之方法,其进一步包含控制以下至少 一项:定义该雷射光束之脉冲之一脉冲速率、该相 互相对平移之一速度以及一扫描速度。 42.如请求项40之方法,其中该扫描包含将第一扫描 中的脉冲传递至要曝露的一第一列,并将一第二扫 描中的脉冲传递至要曝露的一第二列,要曝露的该 第二列与要曝露的该第一列相邻。 43.如请求项42之方法,其中该扫描包含传递每一脉 冲以曝露一附加区域,从而形成一条带。 44.如请求项37之方法,其中要成像的该图案包含平 板显示器上彩色滤光器条带的一图案。 45.一种用于将一图案成像于一光敏表面上之系统, 其包含: 一雷射光束源,其输出一雷射光束; 一扫描器,其沿一扫描方向横跨一光敏表面扫描该 雷射光束; 一传送器,其沿一交叉扫描方向在该扫描器与该光 敏表面之间提供相互相对平移,该交叉扫描方向横 穿该扫描方向;以及 一雷射光束偏转器,当沿该扫描方向扫描该雷射光 束时,该雷射光束偏转器沿该交叉扫描方向与该相 互相对平移同步地偏转该雷射光束。 46.一种用于将一图案成像于一光敏表面上之方法, 其包含: 输出一雷射光束; 沿一扫描方向横跨一光敏表面扫描该雷射光束; 沿一交叉扫描方向在该扫描器与该光敏表面之间 提供相互相对平移,该交叉扫描方向横穿该扫描方 向;以及 当沿该扫描方向扫描该雷射光束时,沿该交叉扫描 方向与该相互相对平移同步地偏转该雷射光束。 图式简单说明: 图1系根据本发明一具体实施例用以将条带图案曝 露于光敏材料之系统之部分简化图示、部分方块 图。 图2系根据本发明另一具体实施例用以将条带图案 曝露于光敏材料之系统之部分简化图示、部分方 块图。 图3系根据本发明另一具体实施例用以将条带图案 曝露于光敏材料之系统之部分简化图示、部分方 块图。 |
