| 主权项 |
1.一种制造金属氧化物薄膜之方法,其包含,当对被 形成在一管内壁之含有脂肪酸和金属之盐类的涂 层薄膜进行热处理,以形成一金属氧化物薄膜时, 在热处理之前或同时对该涂层薄膜进行紫外线照 射处理或臭氧处理。 2.如申请专利范围第1项之制造金属氧化物薄膜的 方法,其中在热处理之前进行紫外线照射处理或臭 氧处理且同时进行涂层薄膜乾燥制程。 3.如申请专利范围第1项之制造金属氧化物薄膜的 方法,其中该紫外线照射处理系经由一具有预定图 型的光罩来进行。 4.如申请专利范围第1项之制造金属氧化物薄膜的 方法,其中该管具有一在0.5至2mm之范围内的开口尺 寸,以及一在30cm至3m之范围内的长度。 5.一种形成一气体放电管的二次电子发射薄膜之 方法,其包含,当对被形成在一玻璃管内壁之含有 脂肪酸和金属之盐类的涂层薄膜进行热处理,以形 成一由金属氧化物薄膜形成之二次电子发射薄膜 时,在热处理之前或同时对该涂层薄膜进行紫外线 照射处理或臭氧处理,其中该玻璃管为内径不超过 2mm之细长的玻璃管。 图式简单说明: 第1(a)-(d)图为制造本发明的金属氧化薄膜方法之 说明示意图; 第2(a)-(d)图为制造本发明的金属氧化薄膜方法之 说明示意图; 第3(a)和(b)图为制造本发明的金属氧化薄膜方法之 说明示意图; 第4图为制造本发明的金属氧化薄膜方法使用设备 之说明示意图; 第5图表示显示装置的例子之说明图,以本发明的 方法使用形成在内壁上具有二次电子发射薄膜之 气体放电管。 |
