| 摘要 |
<p>Техническое решение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения влажности газовой среды. Целью создания данной конструкции является уменьшение времени установления выходного сигнала и уменьшение инерционности процесса десорбции. Указанная цель достигается тем, что в преобразователе для датчика влажности, содержащем электроды кварцевого резонатора, на поверхность которых нанесен адсорбирующий слой, последний выполнен из халькогенидного стеклообразного полупроводника (ХСП), а между поверхностью электродов и адсорбирующим слоем нанесен слой алюминия. При этом адсорбирующий слой ХСП представляет собой пленку, наносимую на поверхность электродов путем вакуумного напыления. Выполнение чувствительного слоя преобразователя из халькогенидного стеклообразного полупроводника позволяет существенно повысить скорость процесса, так как физическая адсорбция происходит без образования соединений и комплексов. Для предотвращения диффузии в слой ХСП серебра, из которого сделаны электроды кварцевого резонатора, между ними напыляют тонкий слой алюминия.</p> |
