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发明名称 Two Side Megasonic Cleaner
摘要
申请公布号 KR100551413(B1) 申请公布日期 2006.02.09
申请号 KR20030055488 申请日期 2003.08.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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