发明名称 Process for producing silicon
摘要
申请公布号 AU2005203195(A1) 申请公布日期 2006.02.09
申请号 AU20050203195 申请日期 2005.07.21
申请人 TOKUYAMA CORPORATION 发明人 SATORU WAKAMATSU;SHIGEKI SUGIMURA
分类号 C01B33/027;C30B28/14;C30B29/06;H01L31/0368;H01L31/18 主分类号 C01B33/027
代理机构 代理人
主权项
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