发明名称 |
Process for producing silicon |
摘要 |
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申请公布号 |
AU2005203195(A1) |
申请公布日期 |
2006.02.09 |
申请号 |
AU20050203195 |
申请日期 |
2005.07.21 |
申请人 |
TOKUYAMA CORPORATION |
发明人 |
SATORU WAKAMATSU;SHIGEKI SUGIMURA |
分类号 |
C01B33/027;C30B28/14;C30B29/06;H01L31/0368;H01L31/18 |
主分类号 |
C01B33/027 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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