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经营范围
发明名称
Method of manufacturing semiconductor
摘要
申请公布号
KR100551411(B1)
申请公布日期
2006.02.09
申请号
KR20040038513
申请日期
2004.05.28
申请人
发明人
分类号
H01L21/31
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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