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发明名称 METHOD FOR PLANARIZING POLYMER INTERDIELECTRIC LAYER IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100550639(B1) 申请公布日期 2006.02.09
申请号 KR19990060595 申请日期 1999.12.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/32 主分类号 H01L21/32
代理机构 代理人
主权项
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