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发明名称
COMPOSITION FOR FORMING ORGANIC ANTI-REFLECTIVE COATING LAYER AND METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE PATTERN USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20060012823(A)
申请公布日期
2006.02.09
申请号
KR20040061486
申请日期
2004.08.04
申请人
DONGJIN MOLECULAR DESIGN TECHNOLOGY
发明人
HWANG, SEOK HO;YOON, HEE KOO;LEE, CHUN HYUK
分类号
C08L35/06;C08L33/08;C08L51/06;G03F7/00
主分类号
C08L35/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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