发明名称 COMPOSITION FOR FORMING ORGANIC ANTI-REFLECTIVE COATING LAYER AND METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE PATTERN USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060012823(A) 申请公布日期 2006.02.09
申请号 KR20040061486 申请日期 2004.08.04
申请人 DONGJIN MOLECULAR DESIGN TECHNOLOGY 发明人 HWANG, SEOK HO;YOON, HEE KOO;LEE, CHUN HYUK
分类号 C08L35/06;C08L33/08;C08L51/06;G03F7/00 主分类号 C08L35/06
代理机构 代理人
主权项
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