发明名称 Deposition of thin films by laser ablation
摘要
申请公布号 AU2006200267(A1) 申请公布日期 2006.02.09
申请号 AU20060200267 申请日期 2006.01.20
申请人 NOVEL LASER TECHNOLOGIES PTY LTD 发明人 ASTGHIK TAMANYAN;GRIGORI TAMANYAN
分类号 C23C14/28 主分类号 C23C14/28
代理机构 代理人
主权项
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