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Bei einem Verfahren zur berührungsfreien Bestimmung einer Dicke einer Schicht (20) aus elektrisch leitendem Material eines Bauteils (17) wird ein Sensor, der aus einem Spulenkörper (13) und einer Spule (14) besteht, in die Nähe des zu messenden Bauteils (17) positioniert. Das Verfahren beruht auf einer Kombination von Induktiv- und Wirbelstromprinzip. Mehrere Mess- und Auswerteschritte, bei denen die Spule (14) mit einer Wechselstromfrequenz f beaufschlagt und ihre Induktivitäts- und Widerstandswerte ausgewertet werden, führen zur Bestimmung der Dicke der Schicht (20). Dabei wird der Abstand zwischen dem Spulenkörper (13), und somit der Spule (14), und dem Bauteil (17) aus dem Widerstandswert R der mit der Wechselstromfrequenz f beaufschlagten Spule (14) abgeleitet.
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