发明名称 Silicon-rich nickel-silicide ohmic contacts for SiC semiconductor devices
摘要
申请公布号 AU2005270089(A1) 申请公布日期 2006.02.09
申请号 AU20050270089 申请日期 2005.06.30
申请人 CREE, INC. 发明人 ALAN III WARD;HELMUT HAGLEITNER;KEITH DENNIS WIEBER;JASON PATRICK HENNING
分类号 H01L21/28;H01L29/45 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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