发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT HAVING A SHOWER HEAD IMPROVED ASSEMBLY
摘要
申请公布号 KR20060013276(A) 申请公布日期 2006.02.09
申请号 KR20040062171 申请日期 2004.08.06
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 SHIN, HEE SEOK
分类号 H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址