半导体试验装置

摘要

在从DUT输出的系统时钟的边沿定时，取得与比系统时钟高速的内部时钟同步的恢复时钟。包括：时间插补器(20)、数字滤波器(40)和数据侧选择器(30)。时间插补器包括输入DUT(1)的系统时钟的触发器(21a～21n)、顺次将以一定的定时间隔延迟的选通脉冲输入到FF(21)并输出时间系列的电平数据的延迟电路(22)、输入从FF输出的时间系列的电平数据并编码成表示边沿定时的位置数据的编码器(28)。数字滤波器包括顺次存储编码器的位置数据在预定的定时输出的多个寄存器(41a～41n)，输出来自寄存器(41)的位置数据作为恢复时钟。数据侧选择器将恢复时钟作为选择信号选择DUT的输出数据。

主权项

1、一种半导体试验装置，其特征在于，包括：第一时间插补器，其输入从被试验器件输出的时钟，通过具有一定的定时间隔的多个选通脉冲取得该时钟，作为时间系列的电平数据进行输出，并且选择输入表示该电平数据的上升沿和/或下降沿的边沿定时的电平数据，输出表示所选择的电平数据的边沿定时的位置数据；第二时间插补器，其输入从被试验器件输出的输出数据，通过具有一定的定时间隔的多个选通脉冲取得该输出数据，作为时间系列的电平数据进行输出；数字滤波器，输入并保持从第一时间插补器输出的位置数据，从一个或二个以上的位置数据，输出表示预定的边沿定时的恢复时钟；和数据选择电路，其输入从第二时间插补器输出的时间系列的电平数据，在从数字滤波器输出的恢复时钟的边沿定时选择该电平数据，作为被试验器件的被测定数据进行输出。