| 发明名称 | 湿式处理用喷嘴 | ||
| 摘要 | 在湿式处理过程中，即使在处理区域内产生不存在处理液的区域的情况下，也可以防止超声波振子的破损。在具有将对被处理物(W)进行湿式处理用的处理液(2)向被处理物(W)的被处理面(W1)供应的导入开口部(21b)，将湿式处理后的排出液(2)从被处理面(W1)排出的排出口部(22b)的湿式处理用喷嘴中，配备有向被处理面(W1)上的处理液(2)赋予超声波振动用的超声波振子(48)连接该超声波振子(48)的振动部(46)，振动部(46)设置在超声波振子(48)的至少被处理物(W)侧上，被处理物(W)侧的振动部(46)的厚度尺寸T与在振动部(46)处的超声波振动的波长λ的关系被设定为T＝(n±0.1)·λ/2(其中n为2以上的整数)。 | ||
| 申请公布号 | CN1241241C | 申请公布日期 | 2006.02.08 |
| 申请号 | CN02141884.5 | 申请日期 | 2002.08.27 |
| 申请人 | 阿尔卑斯电气株式会社 | 发明人 | 三森健一;芳贺宣明;小野昭一 |
| 分类号 | H01L21/304(2006.01);B05B1/00(2006.01);B08B3/02(2006.01) | 主分类号 | H01L21/304(2006.01) |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 郭煜 |
| 主权项 | 1、一种湿式处理用喷嘴，具有将对被处理物进行湿式处理用的处理液向前述被处理物的被处理面供应的导入开口部，将前述湿式处理后的前述处理液的排出液从前述被处理面排出的排出开口部，其特征为，所述喷嘴配备有将超声波振动赋予前述被处理面上的前述处理液用的超声波振子，与该超声波振子连接的振动部，前述振动部至少设置在前述超声波振子的前述被处理物侧，该被处理物侧的前述振动部的厚度尺寸T与该振动部处的前述超声波振动的波长λ的关系被设定为T＝(n±0.1)·λ/2，其中，n为4以上7以下的整数。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||