| 发明名称 |
彩色滤光片的制造方法和曝光装置 |
| 摘要 |
一种彩色滤光片的制造方法包括以下步骤：提供一基板；在该基板上形成黑色矩阵；在该基板和该黑色矩阵表面形成一彩色光阻层；对该彩色光阻层进行曝光显影，对该黑色矩阵的开口部边缘对应的彩色光阻层进行部分曝光显影，从而形成着色层；在该黑色矩阵和该着色层上形成一透明导电膜。用于该彩色滤光片制造方法的曝光装置，其包括一用于彩色光阻层曝光的光罩，该光罩包括一遮光区和一曝光区，该遮光区边缘包括至少一狭缝。 |
| 申请公布号 |
CN1731285A |
申请公布日期 |
2006.02.08 |
| 申请号 |
CN200410051050.9 |
申请日期 |
2004.08.07 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司 |
发明人 |
黄信维 |
| 分类号 |
G03F7/20(2006.01);G02B5/23(2006.01);G02F1/1335(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种彩色滤光片的制造方法，其包括以下步骤：提供一基板；在该基板上形成黑色矩阵；在该基板和该黑色矩阵表面形成一彩色光阻层；对该彩色光阻层进行曝光显影，对该黑色矩阵的开口部边缘对应的彩色光阻层进行部分曝光显影，从而形成着色层；在黑色矩阵及着色层上形成一透明导电膜。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
