清洗多孔材料的装置

摘要

本实用新型涉及一种清洗多孔材料的装置，至少包括：一流体储存槽，用以储放一流体；一泵，其中该泵连接该流体储存槽，且该泵提供具不同压力的该流体；一处理反应室，其中该处理反应室连接该泵，且该处理反应室用以放置并清洗该多孔材料；以及一终点检测器，其中该终点检测器连接该处理反应室，且该终点检测器用以检测出该多孔材料的清洗终点。运用此清洗多孔材料的装置时，可在利用超临界流体清洗多孔材料上的制备工艺残余物时，先在低压状态下使流体注入孔洞，再将反应压力从低压渐升至产生超临界流体的高压。如此一来，可平衡多孔材料的内外压力，达到降低压力对多孔材料的冲击的目的。

主权项

1.一种清洗多孔材料的装置，其特征在于包括：一流体储存槽；一泵，其中该泵连接该流体储存槽；一处理反应室，其中该处理反应室连接该泵，且该多孔材料置于该处理反应室中；以及一终点检测器，其中该终点检测器连接该处理反应室。