| 摘要 |
진공 펌프는, 설치되는 고정 원판 또는 설치되는 회전 원판 중 적어도 어느 한쪽에, 산부와 골부를 가지는 스파이럴형상 홈이 각설(설치)되는 시그반형 분자 펌프부를 가지며, 시그반형 분자 펌프부 내의 외주(외측)의 꺽임 유로에 있어서 컨덕턴스를 크게 취하기 위한 구조를 구비한다. 이 구조는, 회전 원판에 형성되는 연통부(홈부, 슬릿), 혹은, 고정 원판에 설치되는 사판과 회전 원판에 형성되는 연통부에 의해, 진공 펌프 내부에 형성된다. 「연통부」나 「홈부」, 「슬릿」은, 「오목」 형상의 형태이며, 회전 원판(또는 고정 원판)에 있어서, 외경부로부터 내경 방향을(진공 펌프에 있어서 샤프트가 설치되어 있는 측을) 향해 홈을 각설함으로써 오목부가 설치된다. |
