发明名称 | 用于完全耗尽SOI器件的LOCOS隔离 | ||
摘要 | 本发明揭示了一种方法,它包括:提供一个衬底;在衬底上形成一氧化物埋层;在氧化物埋层上形成一薄硅体层,薄硅体层的厚度为3-40纳米;在薄硅体层上形成一垫氧化物层;在垫氧化物层上形成一氮化硅层;在氮化硅层上形成一层光刻胶;在光刻胶中形成一窗口;移除窗口中的氮化硅层;部分地或者全部地移除窗口中的垫氧化物层;移除氮化硅层上的光刻胶;由窗口中的薄硅体层形成场氧化物层;移除垫氧化物层上的氮化硅层;和移除薄硅体层上的垫氧化物层。本发明还揭示了一种结构,它包括:一衬底;衬底上的氧化物埋层;氧化物埋层上的薄硅体层,薄硅体层包括被隔离区分隔开的有源区,隔离区具有长度为薄硅体层厚度的30-60%的改良型鸟喙;以及位于每个有源区内的一完全耗尽器件。 | ||
申请公布号 | CN1732563A | 申请公布日期 | 2006.02.08 |
申请号 | CN200380107373.9 | 申请日期 | 2003.12.08 |
申请人 | 英特尔公司 | 发明人 | M·玻尔;J·蔡 |
分类号 | H01L21/762(2006.01) | 主分类号 | H01L21/762(2006.01) |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 李玲 |
主权项 | 1.一种方法,它包括:设置一衬底;在所述衬底上形成一氧化物埋层;在所述氧化埋层上形成一薄硅体层,所述薄硅体层的厚度为3-40纳米;在所述薄硅体层上形成一垫氧化物层;在所述垫氧化物层上形成一氮化硅层;在所述氮化硅上形成光刻胶;在所述光刻胶层中形成一窗口;移除在所述窗口中所述氮化硅层;部分地或者全部地移除所述窗口内的所述垫氧化物层;移除所述氮化硅层上的所述光刻胶;从在所述窗口中的所述薄硅体层形成场氧化物层;移除所述垫氧化物层上的所述氮化硅层;以及移除所述薄硅体层上的所述垫氧化物层。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |