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发明名称
摘要
申请公布号 JP3742547(B2) 申请公布日期 2006.02.08
申请号 JP20000245952 申请日期 2000.08.14
申请人 发明人
分类号 G21K5/00;H01L21/31;G03F7/20;H01J37/075;H01J37/32;H01L21/027;H01L21/312;H01L21/316;H01L21/768 主分类号 G21K5/00
代理机构 代理人
主权项
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