图形写装置、图形写方法和衬底

摘要

在用于写排列在衬底上的LSI芯片的多个图形块的图形写装置中，提供用于光栅化LSI数据931的光栅化部件(312)、用于在来自摄像机(15a)的图像基础上获得衬底9的膨胀/收缩率的膨胀/收缩率计算部件(312)、用于根据膨胀/收缩率校正光栅数据(932)的数据校正部件(314)以及用于在校正数据基础上产生写数据的数据产生部件(315)。从由数据产生部件(315)产生的写数据，在衬底上写图形块阵列，其中在相邻图形块之间的非图形区的宽度改变而每个图形块的宽度保持不变。

主权项

1、一种图形写装置(1)，它通过用光束辐射衬底(9)而进行图形写操作，该装置包括：用于发射调制光束的光束发射部件(15)；用于扫描来自所述光束发射部件(15)的光束在衬底(9)上的辐射部位的扫描机构(27，141)；用于产生写数据的写数据产生部件(31)；写控制部件(32)，通过在写数据基础上控制所述光束发射部件(15)和所述扫描机构(27，141)，在衬底上写多个图形块(911)的阵列；和用于检测衬底(9)的膨胀或收缩的检测器(15a，313)，其中，所述写数据产生部件(31)产生写数据，其中在来自所述检测器(15a，313)的检测结果基础上改变相邻图形块(911)之间的每个间隙的宽度，而所述多个图形块(911)的每个的宽度在至少一个方向保持不变。