| 发明名称 | 基于声悬浮的圆盘微机械陀螺 | ||
| 摘要 | 一种基于声悬浮的圆盘微机械陀螺，属于微机电技术领域。本发明包括：八个电容极板、分区电极、压电板、基极、绝缘层、四个支撑柱和微转子，基极和分区电极设在压电板沿厚度方向的两面，绝缘层设在基极上，八个电容极板均匀设在绝缘层上，并在绝缘层上形成四个支撑柱，微转子设在四个支撑柱上。本发明采用一种声悬浮驱动机制，解决了磁场环境下的工作问题，而且简化了陀螺的结构，由于该种陀螺适宜于微细加工的方法来制造于实现，因而易于批量化和微型化。 | ||
| 申请公布号 | CN1731089A | 申请公布日期 | 2006.02.08 |
| 申请号 | CN200510028687.0 | 申请日期 | 2005.08.11 |
| 申请人 | 上海交通大学 | 发明人 | 刘景全;杨斌;陈迪 |
| 分类号 | G01C19/02(2006.01);G01P9/02(2006.01) | 主分类号 | G01C19/02(2006.01) |
| 代理机构 | 上海交达专利事务所 | 代理人 | 王锡麟;王桂忠 |
| 主权项 | 1.一种基于声悬浮的圆盘微机械陀螺，包括：八个电容极板(1、2、3、4、5、6、7、8)、分区电极(9)、压电板(10)、基极(11)、绝缘层(12)、四个支撑柱(13、14、15、16)和微转子(17)，其特征在于，基极(11)和分区电极(9)设在压电板(10)沿厚度方向的两面，绝缘层(12)设在基极(11)上，八个电容极板(1、2、3、4、5、6、7、8)均匀设在绝缘层(12)上，并在绝缘层(12)上形成四个支撑柱(13、14、15、16)，微转子(17)设在四个支撑柱(13、14、15、16)上。 | ||
| 地址 | 200240上海市闵行区东川路800号 | ||