发明名称 |
改进的加热压力传感器总成 |
摘要 |
本发明公开了一种加热压力传感器(80),其包括一外封闭件(92)、置于该外封闭件(92)内的第一热壳(12),以及置于第一热壳(12)内的一传感元件(90)。该传感器(80)还包括一加热第一热壳(12)的加热元件(14)和一控制该加热元件(14)的控制单元。一根管子(10)将该传感元件(90)与一加热、加压的气体源(112)连接,以及该传感器(80)还可包括一管加热元件(112),它由该控制单元进行控制,以便向该管子(10)施加热量。该传感器也可包括第二热壳,它置于该外封闭件(92)内,该控制单元的至少一部分置于第二热壳内。由该控制单元控制的一个加热元件可置于第二热壳的邻近,用来加热该热壳。 |
申请公布号 |
CN1241002C |
申请公布日期 |
2006.02.08 |
申请号 |
CN03158779.8 |
申请日期 |
1997.01.13 |
申请人 |
MKS仪器公司 |
发明人 |
罗伯特·C·潘多夫;阿奇博尔德·J·德蒙;弗兰克·W·托马斯;史蒂文·D·布兰肯希普 |
分类号 |
G01L7/00(2006.01) |
主分类号 |
G01L7/00(2006.01) |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
刘兴鹏 |
主权项 |
1.一种压力传感器总成,包括;(A)一个限定一内腔的封闭件,该封闭件包括一个孔;(B)一个压力传感元件,它设置于所述内腔的一部分中并包括一接纳气体或蒸汽的输入口,用于在该输入口处检测该气体或蒸汽的压力,该压力作为一参数值的函数,该参数值按该输入口处该气体或蒸汽的压力而变化;(C)一个管子,它是将蒸气或气体引向所述传感元件的所述输入口的一根导管,所述管子通过所述封闭件的孔而延伸,以及它的第一端与传感元件的输入口连接,它的第二端定位在该封闭件的外侧;(D)第一温度控制装置,用来控制所述传感元件的温度;(E)第二温度控制装置,用来控制所述管子的温度,所述第二温度控制装置包括向所述管子提供热传送的装置,它邻近于在所述第一端与所述孔之间延伸的管子段的至少一部分,并与之热接触;以及(F)控制所述第一和第二温度控制装置的控制器装置,所述控制器装置置于所述内腔中。 |
地址 |
美国马萨诸塞 |