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发明名称 SPINNER EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING AND CONTROL METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR20060012530(A) 申请公布日期 2006.02.08
申请号 KR20040061246 申请日期 2004.08.03
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, SANG DAE
分类号 H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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