| 发明名称 |
LARGE-APERTURED PROJECTION LENS WITH MINIMAL DIAPHRAGM ERROR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP1141781(B1) |
申请公布日期 |
2006.02.08 |
| 申请号 |
EP19990961020 |
申请日期 |
1999.11.27 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT AG |
发明人 |
SCHUSTER, KARL-HEINZ;ULRICH, WILHELM |
| 分类号 |
G02B13/24;G03F7/20;G02B13/14;G02B13/18;G02B13/22;H01L21/027 |
主分类号 |
G02B13/24 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
