| 发明名称 | LiNbO<SUB>3</SUB>/ZnO/金刚石多层膜结构声表面波器件及其制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种LiNbO<SUB>3</SUB>/ZnO/金刚石多层膜结构声表面波器件及制备方法。所说的多层膜结构声表面波器件是在CVD金刚石膜和LiNbO<SUB>3</SUB>薄膜之间有高C－轴择优取向的纳米ZnO中间层。这种LiNbO<SUB>3</SUB>/ZnO/金刚石多层膜结构声表面波器件的制备方法，是在CVD金刚石膜表面溅射高C－轴择优取向的纳米ZnO薄膜，而后在纳米ZnO薄膜表面溅射高C－轴择优取向的LiNbO<SUB>3</SUB>薄膜。本发明的有益效果是：采用高C－轴择优取向的纳米ZnO作为CVD金刚石和LiNbO<SUB>3</SUB>薄膜之间的中间层，可得到平整光滑、结晶度好的高C－轴择优取向的优质LiNbO<SUB>3</SUB>纳米膜。该薄膜结构可满足高频、高机电耦合系数、大功率声表面波(SAW)器件等领域的应用需求。 | ||
| 申请公布号 | CN1731676A | 申请公布日期 | 2006.02.08 |
| 申请号 | CN200510014977.X | 申请日期 | 2005.09.05 |
| 申请人 | 天津理工大学 | 发明人 | 杨保和;陈希明;熊瑛;徐晟;孙大智;李明 |
| 分类号 | H03H3/08(2006.01);H03H9/25(2006.01) | 主分类号 | H03H3/08(2006.01) |
| 代理机构 | 天津佳盟知识产权代理有限公司 | 代理人 | 廖晓荣 |
| 主权项 | 1.一种LiNbO3/ZnO/金刚石多层膜结构声表面波器件，其特征在于所说的多层膜结构声表面波器件是在CVD金刚石膜和LiNbO3薄膜之间有高C-轴择优取向的纳米ZnO中间层。 | ||
| 地址 | 300191天津市南开区红旗路263号 | ||