发明名称 晶片载具
摘要 本发明涉及一种晶片载具,用以承载一晶片,其包含有一透明基座与一导电层。透明基座的尺寸与晶片的尺寸相近,并利用一接合层接合晶片,而导电层的材质则为透明导电材质并可被一静电夹盘吸附,藉此静电夹盘可将晶片传输至各设备。
申请公布号 CN1731573A 申请公布日期 2006.02.08
申请号 CN200410055816.0 申请日期 2004.08.04
申请人 探微科技股份有限公司 发明人 杨辰雄
分类号 H01L21/68(2006.01) 主分类号 H01L21/68(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 李晓舒;魏晓刚
主权项 1.一种晶片载具,用以承载一晶片,其包含有:一透明基座;以及一导电层,位于该透明基座的一底表面。
地址 台湾省桃园县