产生感性耦合的等离子的射频电源

摘要

用于将直流电源(22)变换为在处理腔中的RF电磁场的系统，该系统包括：环绕该处理腔构成的一个线圈(16)；和包括具有一个直流电源输入以及一个RF功率输出的一个自由振荡的振荡器(26)的一个RF功率发生器(20)，连接到负载阻抗的功率输出取决于该负载阻抗，负载阻抗包括用于以一个频率提供RF电流给该线圈的该线圈。

主权项

1.用于将直流电源变换为在处理腔中保持等离子的RF电磁场的系统，该系统包括：环绕处理腔构成的一个线圈，构造为用于耦合RF功率给等离子，所述线圈具有两个端；和一个RF功率发生器，包括具有直流电源和RF功率输出的一个自由振荡的振荡器，所述功率输出连接到一个负载阻抗，所述负载阻抗包括所述线圈，该RF功率发生器构造为用于提供RF电流给所述线圈以便产生该RF功率，该RF功率耦合入该等离子，其中：所述自由振荡的振荡器包括：具有一个阴极、一个板极和一个栅极的一个真空管；连接到所述栅极的一个栅-漏电路；耦合到所述真空管的一个反馈电路；和构造为用于加热所述阴极的直流电源电路；和连接所述线圈的至少一部分以形成所述反馈电路的一部分，其中：形成所述反馈电路的一部分的所述线圈部分与所述线圈的至少一端间隔开，所述RF功率发生器还包括耦合到所述真空管并构造为用于改变耦合到等离子的RF功率的控制电路，和所述控制电路包括控制信号源，构造为用于将一控制信号提供给所述真空管栅极。