兼具纵向和横向压阻系数的悬臂传感器

摘要

本发明涉及一种含最少一个传感器单元，例如悬臂的传感器。该传感器单元含捕获表面区域和当将电场施加在压敏电阻元件上时，用于直接检测传感器单元应力变化的压阻检测系统。该压敏电阻元件具有沿电流的纵向和与其垂直的横向。该纵向和横向各自具有应力分量和电流分量。该压敏电阻元件是各向异性的材料，并且这样排列，即沿压敏电阻元件长度的至少25％，如沿该长度的至少50％，如沿该长度的至少80％，如沿该长度的至少90％，沿该长度的至少95％的纵向压阻系数π1和横向压阻系数π_t之和的数值为至少10^－10Pa^－1×P，如2×10^－10Pa^－1×P,如3×10^－10Pa^－1×P,如4×10^－1Pa^－1×P，其中P是压敏电阻因子，其中将压阻系数π₁和π中的分量。

主权项

1.一种传感器，含至少一个悬臂形状的传感器单元，所述传感器单元含捕获表面，和具有一对导线的压敏电阻元件，该导线用于将电场施加在压敏电阻元件上，将沿压敏电阻元件的导线之间的距离定义为压敏电阻元件的长度，当将电场施加到压敏电阻元件上，并且该压敏电阻元件受到应力时，该压敏电阻元件具有沿压敏电阻元件长度的纵向和横向，将纵向定义为坐标系中x、y或z轴中的一个，并且其中有应力分量和电流分量，横向垂直于所述纵向，所述压敏电阻元件是各向异性的材料，并且这样排列，即沿压敏电阻元件长度的至少25％，如沿该长度的至少50％，如沿该长度的至少80％，如沿该长度的至少90％，沿该长度的至少95％的纵向压阻系数π1和横向压阻系数πt之和的数值为至少10-10Pa-1×P，如2×10-10Pa-1×P，如3×10-10Pa-1×P，如4×10-10Pa-1×P，其中P是压敏电阻因子，其中将压阻系数π1和πt确定为用于确定纵向的坐标系中的分量。