发明名称 新型硅基合金
摘要 本发明涉及一种用于电力半导体器件芯片衬底的新型硅基合金。其主要由硅元素60-95%和有色金属元素5-40%组成(重量比),其中有色金属元素为银、镍、铝、锡、铜、钨、铅、锑中的任意一种或多种组合。具有价格低,性能好,能适应大尺寸硅片衬底应用等优点。
申请公布号 CN1730700A 申请公布日期 2006.02.08
申请号 CN200510060331.5 申请日期 2005.08.04
申请人 田小钰 发明人 田小钰;周立敬
分类号 C22C28/00(2006.01);H01L21/822(2006.01) 主分类号 C22C28/00(2006.01)
代理机构 永康市联缙专利事务所 代理人 柯利进
主权项 1.一种用于电力半导体器件芯片衬底的新型硅基合金,其特征是:其主要由以下成分组成(重量比): 硅元素 60--95% 有色金属元素 5-40%其中有色金属元素为银、镍、铝、锡、铜、钨、铅、锑中的任意一种或多种组合。
地址 321400浙江省缙云县五云镇大桥南路318号