发明名称 BORDERLESS VIAS WITH HSQ GAP FILLED PATTERNED METAL LAYERS
摘要
申请公布号 KR100550304(B1) 申请公布日期 2006.02.08
申请号 KR20007003875 申请日期 2000.04.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/314 主分类号 H01L21/314
代理机构 代理人
主权项
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