发明名称 CONNECTOR FOR SEMICONDUCTOR FABRICATING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060012130(A) 申请公布日期 2006.02.07
申请号 KR20040060868 申请日期 2004.08.02
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KANG, SUNG HOON
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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