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经营范围
发明名称
CONNECTOR FOR SEMICONDUCTOR FABRICATING APPARATUS
摘要
申请公布号
KR20060012130(A)
申请公布日期
2006.02.07
申请号
KR20040060868
申请日期
2004.08.02
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KANG, SUNG HOON
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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