发明名称 Method and apparatus for calibrating a wavelength-tuning interferometer
摘要 Methods for determining an appropriate tuning rate for interferometry systems employing phase-shifting interferometry are disclosed.
申请公布号 US6995848(B2) 申请公布日期 2006.02.07
申请号 US20020315302 申请日期 2002.12.10
申请人 ZYGO CORPORATION 发明人 DECK LESLIE L.
分类号 G01B9/02;G01J9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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