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经营范围
发明名称
METHOD FOR CONTROLLING PLASMA PROCESSOR
摘要
申请公布号
KR100549901(B1)
申请公布日期
2006.02.06
申请号
KR20007001735
申请日期
2000.02.21
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
主权项
地址
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