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发明名称
A heat treatment apparatus and method for irradiating a light
摘要
申请公布号
KR100549452(B1)
申请公布日期
2006.02.06
申请号
KR20030082889
申请日期
2003.11.21
申请人
发明人
分类号
H01L21/324;H01L21/00;H05B3/00
主分类号
H01L21/324
代理机构
代理人
主权项
地址
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