| 发明名称 |
COMPOSANT MICROMECANIQUE ET PROCEDE DE FABRICATION D'UN TEL COMPOSANT |
| 摘要 |
<p>A micromechanical component having a substrate and a diaphragm positioned on the substrate. Underneath the diaphragm a region made of porous material is provided, which mechanically supports the diaphragm and thermally insulates it.</p> |
| 申请公布号 |
FR2815953(B1) |
申请公布日期 |
2006.02.03 |
| 申请号 |
FR20010013866 |
申请日期 |
2001.10.26 |
| 申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
BENZEL HUBERT;WEBER HERIBERT;SCHAEFER FRANK |
| 分类号 |
B81B3/00;B81B1/00;B81B7/00;B81C1/00;G01J5/02;G01J5/12;G01J5/14;G01N25/66;G01N25/68;G01N27/22;(IPC1-7):B81B3/00 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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