发明名称 PHOTORESIST POLYMER AND PHOTORESIST COMPOSITION CONTAINING IT
摘要
申请公布号 KR20060011423(A) 申请公布日期 2006.02.03
申请号 KR20040060267 申请日期 2004.07.30
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 SON, MIN SEOK
分类号 G03F7/04;G03C1/492;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/075 主分类号 G03F7/04
代理机构 代理人
主权项
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