Wafer-Holder for Semiconductor Manufacturing Process,申请号KR20040003072-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	Wafer-Holder for Semiconductor Manufacturing Process
摘要
申请公布号	KR100549273(B1)	申请公布日期	2006.02.03
申请号	KR20040003072	申请日期	2004.01.15
申请人		发明人
分类号	C23C16/44;B65G65/04;H01L21/205;H01L21/673;H01L21/68;H01L21/683	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
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