| 摘要 |
<p>En abrasiv sammensetning for polering av substiater omfattende et flertall av abrasive partikler som har en polydispers partikkelstørrelsesfordeling med median partikkelstørrelse, ved volum, som er omtient 20 nanometer til omtient 100 nanometer, en speimverdi ved volum, som er større enn eller lik omtient 20 nanometer, hvori en fraksjon av nevnte partikler større enn omtient 100 nanometer er mindre enn eller lik omtrent 20 volumprosent av de abrasive partiklene.</p> |
