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发明名称 TEMPERATURE MAINTENANCE SYSTEM OF PROBE CARD FOR WAFER BURN-IN TEST
摘要
申请公布号 KR20060011792(A) 申请公布日期 2006.02.03
申请号 KR20050032156 申请日期 2005.04.19
申请人 CENOTECH CO., LTD. 发明人 LEE, TAE KYO;LEE, SEUNG KOOK;JOO, HONG CHEOL;LEE, SEUNG HYUN
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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