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Verfahren zur Erfassung von Bildern einer Probe mit einem Lichtrastermikroskop mit linienförmiger Abtastung, wobei detektierte Bilddaten, die dreidimensionalen Probenbereichen entsprechen, detektiert und abgespeichert werden, DOLLAR A wobei eine Datenkompression erfolgt, indem auf der Probe nebeneinander und übereinander liegende Bilddaten bei der Kompression berücksichtigt werden. Vorteilhaft wird ein Bildstapel aufgenommen und jeweils benachbarte Bilder des Bildstapels zur Datenkompression herangezogen. DOLLAR A Es werden zeitliche und/oder spektrale detektierte und abgespeicherte Daten zur Datenkompression herangezogen.
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