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发明名称
Vibration isolating apparatus fabricated with MEMS technic and fabrication method thereof
摘要
申请公布号
KR100548200(B1)
申请公布日期
2006.02.02
申请号
KR20030099886
申请日期
2003.12.30
申请人
发明人
分类号
B81B7/02
主分类号
B81B7/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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