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发明名称 Plasmabearbeitungsgerät
摘要
申请公布号 DE69635640(D1) 申请公布日期 2006.02.02
申请号 DE19966035640 申请日期 1996.08.16
申请人 TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 HAMA, KIICHI;HONGOH, TOSHIAKI;KURIKI, YASUYUKI
分类号 H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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