Lichtrastermikroskop mit punktförmiger Lichtquellenverteilung und Verwendung

摘要

Lichtrastermikroskop zur Erfassung mindestens eines Probenbereiches durch eine Relativbewegung zwischen Beleuchtungslicht und Probe, DOLLAR A wobei das Beleuchtungslicht die Probe parallel in mehreren Punkten oder Bereichen beleuchtet und mehrere Punkte oder Bereiche mit einer Detektoranordnung simultan detektiert werden, DOLLAR A wobei das Beleuchtungslicht aus einer Verteilung punktförmiger Lichtquellen besteht und den beleuchteten Probenpunkten detektionsseitig Detektoren zugeordnet sind, DOLLAR A wobei Detektionsstrahlengänge mit auswechselbaren und/oder schaltbaren Strahlteilern und/oder Filtern vorgesehen sind.