APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE EQUIPPED WITH LOAD LOCK CHAMBER TO INCREASE YIELD,申请号KR20040058756-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE EQUIPPED WITH LOAD LOCK CHAMBER TO INCREASE YIELD
摘要
申请公布号	KR20060010153(A)	申请公布日期	2006.02.02
申请号	KR20040058756	申请日期	2004.07.27
申请人	SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.	发明人	KIM, HYOUN CHEOL;JUNG, CHANG GOO
分类号	H01L21/02	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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