ELECTRODE SHEET FOR ELECTROSTATIC CHUCK DEVICES AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE COMPRISING THE SAME,申请号KR20050128172-传众专利搜索

发明名称	ELECTRODE SHEET FOR ELECTROSTATIC CHUCK DEVICES AND ELECTROSTATIC CHUCK DEVICE COMPRISING THE SAME
摘要
申请公布号	KR20060010701(A)	申请公布日期	2006.02.02
申请号	KR20050128172	申请日期	2005.12.22
申请人	TOMOEGAWA PAPER CO., LTD.	发明人	SHIMA TAKESHI;TOCHIHIRA JUN;HASEGAWA YUUICHI;YAMAMOTO TOSHIYUKI;HORI MASATOSHI;IMANISHI AKIO
分类号	H01L21/68;H01L21/683;B23Q3/154;H02N13/00	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
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