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发明名称 CVD Verfahren
摘要
申请公布号 DE69732722(T2) 申请公布日期 2006.02.02
申请号 DE19976032722T 申请日期 1997.03.18
申请人 TAIYO NIPPON SANSO CORPORATION, TOKIO/TOKYO 发明人 ARAI, TAKAYUKI;HIDAKA, JUNICHI;MATSUMOTO, KOH;AKUTSU, NAKAO;AOYAMA, KAZUHIRO;INAISHI, YOSHIAKI;WAKI, ICHITARO
分类号 C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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