发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SCHICHT AUS SILIZIUM KARBID ODER AUS EINER GRUPPE III-NITRID AUF EIN ANGEPASSTES SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE60303014(D1) 申请公布日期 2006.02.02
申请号 DE2003603014 申请日期 2003.02.13
申请人 CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S.), PARIS 发明人 LEYCURAS, ANDRE
分类号 H01L33/00;C30B25/02;C30B25/18;C30B29/36;C30B29/40;H01L21/20;H01S5/323 主分类号 H01L33/00
代理机构 代理人
主权项
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