发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SCHICHT AUS SILIZIUM KARBID ODER AUS EINER GRUPPE III-NITRID AUF EIN ANGEPASSTES SUBSTRAT |
摘要 |
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申请公布号 |
DE60303014(D1) |
申请公布日期 |
2006.02.02 |
申请号 |
DE2003603014 |
申请日期 |
2003.02.13 |
申请人 |
CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S.), PARIS |
发明人 |
LEYCURAS, ANDRE |
分类号 |
H01L33/00;C30B25/02;C30B25/18;C30B29/36;C30B29/40;H01L21/20;H01S5/323 |
主分类号 |
H01L33/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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